ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB100KC

日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB080KC日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB100KCULVAC 的真空阀是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。我们的产品阵容可以满足从大气压到极高真空的各种需求。特征SUS角阀可烘烤至150℃。连接法兰有四种类型可供选择:JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。提供双作用和单作用驱动系统。如果是单

日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB080KC

日本ULVAC爱发科真空角阀 半导体制造用VLHーSB100KC


ULVAC 的真空阀是基于我们在真空领域的丰富技术和经验而开发的。

我们的产品阵容可以满足从大气压到极高真空的各种需求。


特征

SUS角阀可烘烤至150℃。

连接法兰有四种类型可供选择:JIS-VF、ISO-KF、ISO-K 和 ISO-CF。

提供双作用和单作用驱动系统。如果是单作用类型,则只需要一根压缩空气管路。

材质为不锈钢。 (但是,VLP-U 是铁制的,VAP、VAH 和 VFR 是铝制的。)


规格

模型VLB-SA
阀板允许最大压差(正压/反压)MPa0.10
阀门开启时最大允许压差(正压/反压)MPa0.10
阀板密封方式〇环
轴封方式〇环
驱动系统双作用气缸
泄漏量(外部)* 1 Pa・m 3 /s≤1.0E-10
泄漏量(内部)* 1 Pa·m 3 /s≤1.0E-10
工作压力范围(绝压)Pa大气压~1.0E-5
烘烤允许温度(静止时)* 2 ℃主体:150 * 3,驱动单元:70个(传感器:60个)
使用环境温度℃5-70(传感器:5-60)








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