池田ULVAC爱发科UNECS-3000A 光谱椭偏仪 可高速、高精度测量薄膜

池田ULVAC爱发科UNECS-1500A 光谱椭偏仪 兼容可见光谱

池田ULVAC爱发科UNECS-2000A 光谱椭偏仪 兼容可见光谱

池田ULVAC爱发科UNECS-3000A 光谱椭偏仪 可高速、高精度测量薄膜

可映射测量的自动载物台类型

UNECS系列是一款光谱椭偏仪，

可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。

采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑化。

我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括独特的便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能，可快速自动测量基材表面内的膜厚分布，并将结果显示在彩色图上。

特征

高速测量：

通过采用独特的快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱：

波长范围可以从标准型（530nm至750nm）和可见光谱型（380nm至760nm）中选择。

紧凑的传感器单元：

光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：

我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括独特的便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。

用途

• 透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

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