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池田ULVAC爱发科UNECS-1500A 光谱椭偏仪 兼容可见光谱

池田ULVAC爱发科UNECS-1500A 光谱椭偏仪 兼容可见光谱可映射测量的自动载物台类型UNECS系列是一款光谱椭偏仪,可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。采用独特的测量方法,实现高速测量和紧凑化。我们提供广泛的产品阵容,以适应不同的应用,包括独特的便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能,可快速自动

池田ULVAC爱发科UNECS-1500A 光谱椭偏仪 兼容可见光谱

可映射测量的自动载物台类型


UNECS系列是一款光谱椭偏仪,

可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。

采用独特的测量方法,实现高速测量和紧凑化。

我们提供广泛的产品阵容,以适应不同的应用,包括独特的便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-1500A/2000A/3000A采用自动R-θ平台和自动对焦功能,可快速自动测量基材表面内的膜厚分布,并将结果显示在彩色图上。



特征

高速测量:

通过采用独特的快照方式,实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱:

波长范围可以从标准型(530nm至750nm)和可见光谱型(380nm至760nm)中选择。

紧凑的传感器单元:

光发射/接收传感器仅由光学元件组成,没有旋转机构,并且非常轻便和紧凑,并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容:

我们拥有可适应各种应用的产品阵容,包括独特的便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。


用途

  • 透明或半透明薄膜(氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等)的膜厚、折射率、消光系数的测量



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