ULVAC爱发科 UNECSｰPortable手动型 高速光谱椭偏仪

ULVAC爱发科 UNECSｰPortable手动型 高速光谱椭偏仪

轻便紧凑的便携型

UNECS系列是一款光谱椭偏仪，可高速、高精度测量薄膜的厚度和折射率。

采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑化。

我们提供广泛的产品阵容，以适应不同的应用，包括独特的便携式类型、自动平台类型和与真空环境兼容的内置类型。

UNECS-Portable是一款便携式型，重量轻、结构紧凑，测量单元重量仅为2.2公斤，方便携带。

包含一个用于小样品的简单固定载物台，并且可以从载物台上拆下以测量大样品。

特征

高速测量：

通过采用独特的快照方式，实现了最高速度20ms的高速测量。

兼容可见光谱：

波长范围可以从标准型（530nm至750nm）和可见光谱型（380nm至760nm）中选择。

紧凑的传感器单元：

光发射/接收传感器仅由光学元件组成，没有旋转机构，并且非常轻便和紧凑，并且不需要定期维护。

丰富的产品阵容：

我们拥有可适应各种应用的产品阵容，包括独特的便携式类型、手动/自动平台类型、大型基板类型以及与大气/真空环境兼容的内置类型。

用途

透明或半透明薄膜（氧化膜、氮化膜、抗蚀剂、ITO等）的膜厚、折射率、消光系数的测量

规格