ULVAC爱发科

ULVAC爱发科 池田BGM2-202 高真空排气设备残余气体分析仪

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ULVAC 的新型残余气体分析仪 (RGA) 因其简单性和易用性而具有革命性意义。

根据各生产线设备工程师的意见,引入新的过程监控标准。适合真空蒸发设备和各种真空炉的设备管理。


特征

通用规格,性价比优异

测量质量数范围 1 至100 amu

集成显示设计...无需计算机即可测量

操作简单:一键式功能...任何人都可以轻松操作。无需复杂的操作

增强的泄漏测试功能

可测量总压力

标配 Qulee QCS 软件

兼容CE标准


目的

真空蒸镀设备、溅射设备等成膜设备的残留气体分析

高真空排气设备残余气体分析

冷冻干燥设备残留气体分析

用于研究和开发的各种气体分析




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