ULVAC爱发科 池田CGM2-051气体分析仪（过程气体监测仪）

ULVAC爱发科 池田CGM2-051气体分析仪（过程气体监测仪）

ULVAC 的新型残余气体分析仪/过程气体监测仪 (RGA) 可在高压（1 Pa 或更低）

下实现高精度和高分辨率，并且具有革命性的简单性和易用性。

根据各生产线设备工程师的意见，引入新的过程监控标准。

适合溅射设备的过程控制（提高质量和产量）。

特征

溅射工艺的理想选择

漏气监测

残留水分管理

无需差压泵系统进行过程监控...可测量 1Pa 或更小，节省空间。

可进行高灵敏度泄漏测试（CGM2-052），增强泄漏测试功能

可测量总压力

集成显示设计...无需计算机即可测量

操作简单 - 一键式功能...任何人都可以轻松操作，无需复杂的操作

标配 Qulee QCS 软件

兼容CE标准

目的

用于溅射设备的残余气体分析、过程监控和杂质 (H 2 O) 管理。

用于溅射设备的泄漏测试