ULVAC爱发科

池田屋ULVAC爱发科电容压力计CCMT-1D用于真空熔炼

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池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-1000D 内置温度补偿电路型

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池田屋ULVAC爱发科电容压力计CCMT-1D用于真空熔炼


CCMT-D系列是电容式压力计,其陶瓷膜片因气压变化而变形,并通过电容的变化来检测压力。

传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构,因此具有优异的再现性和稳定性,无论何种气体(绝对压力表),

都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。


特征

  • 长期稳定

  • 由于使用陶瓷膜,具有优异的耐腐蚀性

  • 内置温度补偿电路型

  • 新采用的结构可保护传感器免受污垢影响

  • 可通过按钮进行零点调整

目的

  • 用于薄膜沉积设备过程中的压力监测

  • 用于真空熔炼、真空热处理炉等真空排气系统的压力监测。

  • 用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测


规格

模型CCMT-D
测量
满量程
CCMT-1000D133kPa 满量程
CCMT-100D13.3kPa满量程
CCMT-10D1.33kPa满量程
CCMT-1D133Pa 满量程
解决整个案例为 0.003%
准确度*1±0.2%示值
±温度系数
温度系数零电压0.015%满量程/℃
量程电压0.01%R/℃
工作温度限制10~50℃
响应速度30毫秒或更短




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