池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-100D 内置温度补偿电路型
池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-1000D 内置温度补偿电路型池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-100D 内置温度补偿电路型CCMT-D系列是电容式压力计，其陶瓷膜片因气压变化而变形，并通过电容的变化来检测压力。传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有优异的再现性和稳定性，无论何种气体（绝对压力表），都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。特征长期稳定由于使用陶瓷膜，具有
池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-1000D 内置温度补偿电路型
池田屋ULVAC爱发科 电容压力计CCMT-100D 内置温度补偿电路型
CCMT-D系列是电容式压力计，其陶瓷膜片因气压变化而变形，并通过电容的变化来检测压力。
传感器部分采用陶瓷制成的一体化结构，因此具有优异的再现性和稳定性，无论何种气体（绝对压力表），
都可以精确测量低真空和中真空区域的压力。
特征
长期稳定
由于使用陶瓷膜，具有优异的耐腐蚀性
内置温度补偿电路型
新采用的结构可保护传感器免受污垢影响
可通过按钮进行零点调整
目的
用于薄膜沉积设备过程中的压力监测
用于真空熔炼、真空热处理炉等真空排气系统的压力监测。
用于太阳能电池等各种制造设备的压力监测
规格
| 模型 | CCMT-D | ||
| 测量 满量程 | CCMT-1000D | 133kPa 满量程 | |
| CCMT-100D | 13.3kPa满量程 | ||
| CCMT-10D | 1.33kPa满量程 | ||
| CCMT-1D | 133Pa 满量程 | ||
| 解决 | 整个案例为 0.003% | ||
| 准确度*1 | ±0.2%示值 ±温度系数 | ||
| 温度系数 | 零电压 | 0.015%满量程/℃ | |
| 量程电压 | 0.01%R/℃ | ||
| 工作温度限制 | 10～50℃ | ||
| 响应速度 | 30毫秒或更短 | ||