池田屋ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计SC1 用于半导体、电子元件
池田屋ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计SC1 用于半导体、电子元件特征测量头与测量电路一体化结构模拟和设定点输出独立的伪对数输出和设定值输出（显示单元）采用 DIN 标准尺寸 48 x 96mm（显示单元）目的用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制用于熔炉等各种工业设备的过程控制用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的过程控制。规格类型传感器单元模型SC1自适应探头C-21,
池田屋ULVAC爱发科 冷阴极电离真空计SC1 用于半导体、电子元件
特征
测量头与测量电路一体化结构
模拟和设定点输出
独立的伪对数输出和设定值输出（显示单元）
采用 DIN 标准尺寸 48 x 96mm（显示单元）
目的
用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制
用于熔炉等各种工业设备的过程控制
用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的过程控制。
规格
| 类型 | 传感器单元 | ||
| 模型 | SC1 | ||
| 自适应探头 | C-21, 23, 24, 25 | ||
| 测量压力范围 | 1.0×10 -5 ~ 1.0帕 | ||
| 测量精度 | +100%、-50%（1.0×10 -4至 1.0×10 -1） | ||
| 工作温度限制 | 10～40℃ | ||
| 测量值输出 | 非线性输出：DC0V～10V（HV-OFF时10V） | ||
| SETPOINT1/2 调节输出 | 非线性输出：DC0至10V | ||
| 控制输入信号 | 高压开/关 | ||
| 输出信号 | 集电极开路，负逻辑 | ||
| 控制输出信号 | 放电确认/设定点 1/2 | ||
| LED显示屏 | 功率、HV、压力保护、设定值 1/2 |