ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 池田屋 SH200-E多离子压力传感器

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 池田屋 SH200-A 可测量超高真空

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 池田屋 SH200-R 可测量超高真空

ULVAC爱发科 热阴极电离真空计 池田屋 SH200-E多离子压力传感器

这是新系列的传感器式真空计“G-TRAN系列多离子真空计”，

可以连接不同测量范围的探头。

本产品为BA型电离真空计，可测量超高真空。

特征

可连接不同测量范围的探头：多离子计允许根据应用选择探头。

紧凑：明显小于传统产品（控制器体积减少 56%），小级别

提高可用性：可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等

产品阵容丰富：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）。

灯丝寿命通知功能：通过监控灯丝功率，可以提前通知灯丝寿命。

压力测量范围广：可测量大气压至高真空范围（1×10 +5～ 5×10 -8 Pa）（连接选购件 SWU10-R 时）

精确的大气压力测量：可以检查腔室开口的大气压力（当连接可选单元 SAU 时）

用途

用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制。

用于检查直列式、单晶圆式等具有多个处理室的各种制造设备的高真空区域的极限压力。

用于高真空和超高真空设备中的压力测量

规格