日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SP1用于半导体和电子元件
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SWU10-U无需专用电源或显示器日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SP1用于半导体和电子元件传感器单元SP1是传感器型皮拉尼真空计，集成了探头和电路，节省了成本和空间。特征节省成本和空间的传感器类型灯丝材料采用具有优异耐腐蚀性的铂。2 个设定点输出，探头输出 DC0 至 5V（非线性输出）电源电压DC24V输入用途用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过
ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 SWU10-U无需专用电源或显示器
日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SP1用于半导体和电子元件
传感器单元SP1是传感器型皮拉尼真空计，集成了探头和电路，节省了成本和空间。
特征
节省成本和空间的传感器类型
灯丝材料采用具有优异耐腐蚀性的铂。
2 个设定点输出，探头输出 DC0 至 5V（非线性输出）
电源电压DC24V输入
用途
用于半导体和电子元件等各种制造设备的低真空区域的过程控制。
用于各种工业设备（例如熔炉）的低真空区域的过程控制。
用于在线型、单晶圆型等具有多个处理室的各种制造设备的低真空区域的过程控制。
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 自适应探头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
测量精度 | ±15%（51 Pa 至 760 Pa） |
| ±30%（10Pa～1000Pa） | |
| ±50%（0.4Pa～3000Pa） | |
| 工作温度限制 | 10～40℃ |
| 采样时间 | 50ms 5次移动平均处理 |
测量值输出 | 非线性输出：DC0-5V（最大10V） |
| （更新时间）50毫秒 | |
| （分辨率）10mV | |
| 设定点 1/2 调节输出 | 非线性输出：DC 0-5V（最大10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定点 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、误差、设定点 1/2 |
| 电源电压 | DC24V±2V，90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 身体质量 | 190g（不含测量尖） |
配件 | 输入/输出连接器 1套 |
| 快速手册1份 |