ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 探头SWP-16 (NW16)

日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-A半导体、电子零件、FPD用日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 探头SWP-16 (NW16)在继承耐冲击接触点、使用高耐腐蚀铂金丝材料等传统理念的同时,设计进行了彻底重新设计,并配备了人性化、便捷的功能。特征提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等灵活的测量值输出信号

日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-A半导体、电子零件、FPD用

日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型

日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计 探头SWP-16 (NW16)


在继承耐冲击接触点、使用高耐腐蚀铂金丝材料等传统理念的同时,

设计进行了彻底重新设计,并配备了人性化、便捷的功能。


特征

提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等

灵活的测量值输出信号:兼容第三方型号(详情请联系我们)

广域测量:可测量5×10 -2 Pa~1.0×10 +5 Pa(大气压)的广域

提高抗冲击性:测量头具有优异的抗冲击性

灯丝材料: 铂(Pt):灯丝材料采用具有优异耐腐蚀性的铂。

维护:探头更换方便(一键调节大气压、调零)

接口:模拟输出规格(SW100-A)、串行通信规格(SW100-R)


目的

FPD、半导体、电子零件等各种制造设备(直列式/单晶圆式)

适用于所有与家电、汽车相关的真空排气台车。

包括熔炉在内的各种工业设备

各种分析装置


规格


模型SW100-ASW100-R
规格模拟输出类型串行通讯类型
可连接探头
适用探头SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (φ18)、
SWP-P15 (φ15)、SWP-CF16 (ICF034)、SWP-1S ( ASME BPE 卫生级 1")
测量压力范围5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa
测量精度* 11×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±10%
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20%
重复性1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±2%
采样时间60ms 5次移动平均处理





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