日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型
日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-A半导体、电子零件、FPD用日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型在继承耐冲击接触点、使用高耐腐蚀铂金丝材料等传统理念的同时,设计进行了彻底重新设计,并配备了人性化、便捷的功能。特征提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等灵活的测量值输出信号:兼容第三方型号(详情请联系我们)广域测量:可测量5×10 -2
日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-A半导体、电子零件、FPD用日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型在继承耐冲击接触点、使用高耐腐蚀铂金丝材料等传统理念的同时,设计进行了彻底重新设计,并配备了人性化、便捷的功能。特征提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等灵活的测量值输出信号:兼容第三方型号(详情请联系我们)广域测量:可测量5×10 -2
日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-A半导体、电子零件、FPD用
日本ULVAC爱发科 皮拉尼真空计SW100-R串行通讯类型
在继承耐冲击接触点、使用高耐腐蚀铂金丝材料等传统理念的同时,
设计进行了彻底重新设计,并配备了人性化、便捷的功能。
特征
提高可用性:可通过 PC/智能手机连接进行设定点设置、状态确认等
灵活的测量值输出信号:兼容第三方型号(详情请联系我们)
广域测量:可测量5×10 -2 Pa~1.0×10 +5 Pa(大气压)的广域
提高抗冲击性:测量头具有优异的抗冲击性
灯丝材料: 铂(Pt):灯丝材料采用具有优异耐腐蚀性的铂。
维护:探头更换方便(一键调节大气压、调零)
接口:模拟输出规格(SW100-A)、串行通信规格(SW100-R)
目的
FPD、半导体、电子零件等各种制造设备(直列式/单晶圆式)
适用于所有与家电、汽车相关的真空排气台车。
包括熔炉在内的各种工业设备
各种分析装置
模型 | SW100-A | SW100-R | |
规格 | 模拟输出类型 | 串行通讯类型 | |
可连接探头 | 一 | ||
适用探头 | SWP-16 (NW16)、SWP-25 (NW25)、SWP-R1/8 (R1/8)、SWP-P18 (φ18)、 SWP-P15 (φ15)、SWP-CF16 (ICF034)、SWP-1S ( ASME BPE 卫生级 1") | ||
测量压力范围 | 5.0×10 -2 ~ 1.0×10 +5 Pa | ||
测量精度* 1 | 1×10 -1 Pa~1×10 +4 Pa:±10% | ||
5.0×10 -2 ~ 1.0×10 -1 Pa、1×10 +4 Pa ~ 1×10 +5 Pa:±20% | |||
重复性 | 1×10 -1 Pa ~ 1×10 +4 Pa : ±2% | ||
采样时间 | 60ms 5次移动平均处理 |