日本ULVAC爱发科 排气系统VTS-350M 部件少 易于维护
日本ULVAC爱发科 排气系统VTS-350M 部件少 易于维护这是一种低成本、紧凑型高真空排气系统，将主泵、辅泵、阀门管路、电气系统、测压口等必要设备紧凑地存放在管架内。它易于操作、维护和检查，适合实验。特征桌面型和紧凑的尺寸可以节省安装空间。无需停止主泵即可打开真空室。油扩散泵采用风冷，因此不需要冷却水。规格模型VTS-350M/X极限压力10 -4 Pa级10 -5 Pa（使用液氮时）主泵涡
日本ULVAC爱发科 排气系统VTS-350M 部件少 易于维护
这是一种低成本、紧凑型高真空排气系统，将主泵、辅泵、阀门管路、
电气系统、测压口等必要设备紧凑地存放在管架内。
它易于操作、维护和检查，适合实验。
特征
桌面型和紧凑的尺寸可以节省安装空间。
无需停止主泵即可打开真空室。
油扩散泵采用风冷，因此不需要冷却水。
规格
模型 | VTS-350M/X |
极限压力 | 10 -4 Pa级 10 -5 Pa（使用液氮时） |
主泵 | 涡轮分子泵 345 升/秒 |
辅助泵 | 涡旋泵 250 升/分钟 |
主阀 | 100A蝶阀 |
辅助阀 | 三通阀 |
进气口 | VG-100 |
| 重量 | 135公斤 |
最大尺寸（宽 x 深 x 高） | 730毫米（宽）×584毫米（深）×804毫米（高） |