日本 ULVAC爱发科ULK-10A 油扩散真空泵 无机械滑动部件
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日本 ULVAC爱发科ULK-10A 油扩散真空泵 无机械滑动部件
ULVAC的ULK型油扩散泵是一种高真空泵，结构紧凑，设计有大临界背压。
它被广泛应用于从研究应用到生产线。
特征
耐用的高真空泵，无机械滑动部件。
通过选择两种类型的油和加热器，您可以获得所需的抽速和极限压力。
配备防止液压油流向辅助泵侧的机构。
目的
・蒸镀设备
・高真空实验设备
规格
| 模型 | ULK-04A | ULK-06A | ULK-10A | ULK-14A | |||||||
| 抽速 | 550升/秒 | 500升/秒 | 1200升/秒 | 1100升/秒 | 3400升/秒 | 3000升/秒 | 5400升/秒 | 4900 升/秒 | |||
| 极限压力*1 | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | ＜2.6×10 -5 Pa | ＜2.6×10 -6 Pa | |||
| 临界背压 | 40帕 | 60帕 | 40帕 | 60帕 | 35帕 | 40帕 | 30帕 | 30帕 | |||
| 工作开始时间 | 9分钟 | 8.5分钟 | 16.5分钟 | 15分钟 | 20分钟 | 20分钟 | 25分钟 | 25分钟 | |||
| 油量 | 0.15升 | 0.35升 | 0.8升 | 1.5升 | |||||||
| 水温 | 19℃~25℃ | ||||||||||
| 冷却水组合 （尺寸x系统数量） | RC 1/4" | RC 1/4" | RC 3/8" | RC 3/8" | |||||||