ULVAC爱发科

日本 ULVAC爱发科ULK-06A油扩散泵 蒸镀设备高真空泵

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日本 ULVAC爱发科 油扩散泵DPF-050 风冷式真空泵

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ULVAC的ULK型油扩散泵是一种高真空泵,结构紧凑,设计有大临界背压。

它被广泛应用于从研究应用到生产线。


特征

耐用的高真空泵,无机械滑动部件。

通过选择两种类型的油和加热器,您可以获得所需的抽速和极限压力。

配备防止液压油流向辅助泵侧的机构。


目的

・蒸镀设备

・高真空实验设备


规格

模型ULK-04AULK-06AULK-10AULK-14A
抽速550升/秒500升/秒1200升/秒1100升/秒3400升/秒3000升/秒5400升/秒4900 升/秒
极限压力*1<2.6×10 -5 Pa<2.6×10 -6 Pa<2.6×10 -5 Pa<2.6×10 -6 Pa<2.6×10 -5 Pa<2.6×10 -6 Pa<2.6×10 -5 Pa<2.6×10 -6 Pa
临界背压40帕60帕40帕60帕35帕40帕30帕30帕
工作开始时间9分钟8.5分钟16.5分钟15分钟20分钟20分钟25分钟25分钟
油量0.15升0.35升0.8升1.5升
水温19℃~25℃
冷却水组合
(尺寸x系统数量)
RC 1/4"RC 1/4"RC 3/8"RC 3/8"




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