日本 ULVAC爱发科PST-400CXII真空离子泵 电子显微镜用
日本 ULVAC爱发科PST-400CXII真空离子泵 电子显微镜用该泵利用溅射活化钛的吸气作用来增强超高真空区域的泵送特性。通过优化新元件和磁场，我们改善了极端和超高真空区域的抽气特性。特征兼容极端和超高真空。通过连接 ISO 标准测试圆顶，验证极限压力为10 -9 Pa。强化稀有气体排气型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。 （与我们公司相比）在超高真空区域实现高抽速。能够在短时间内抽真空至超高
日本 ULVAC爱发科PST-400CXII真空离子泵 电子显微镜用
该泵利用溅射活化钛的吸气作用来增强超高真空区域的泵送特性。
通过优化新元件和磁场，我们改善了极端和超高真空区域的抽气特性。
特征
兼容极端和超高真空。通过连接 ISO 标准测试圆顶，验证极限压力为10 -9 Pa。
强化稀有气体排气型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。 （与我们公司相比）
在超高真空区域实现高抽速。
能够在短时间内抽真空至超高真空范围。
在超高真空区域具有出色的启动特性。 （放电持续到超高真空区域）
目的
加速器
电子显微镜
电子束光刻设备
不喜欢振动的分析仪
极端/超高真空环境的利用等