活性气体用 PST-050CU溅射离子泵 池田 ULVAC爱发科

高真空区域 PST-030CU溅射离子泵 池田 ULVAC爱发科

高真空区域PST-030AU溅射离子泵 池田 ULVAC爱发科

活性气体用 PST-050CU溅射离子泵 池田 ULVAC爱发科 

该泵利用溅射活化钛的吸气作用来增强超高真空区域的泵送特性。

通过优化新元件和磁场，我们改善了极端和超高真空区域的抽气特性。

特征

兼容极端和超高真空。通过连接 ISO 标准测试圆顶，验证极限压力为10 -9 Pa。

强化稀有气体排气型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。 （与我们公司相比）

在超高真空区域实现高抽速。

能够在短时间内抽真空至超高真空范围。

在超高真空区域具有出色的启动特性。 （放电持续到超高真空区域）

目的

加速器

电子显微镜

电子束光刻设备

不喜欢振动的分析仪

极端/超高真空环境的利用等