气口适配器：KF10 涡轮分子泵 池田 ULVAC爱发科

集成控制器UTM-MI 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺

集成控制器UTM1200A 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺

分析设备用UTM2300A 涡轮分子泵 池田 ULVAC爱发科

分析设备用UTM3400A 涡轮分子泵 池田 ULVAC爱发科 

气口适配器：KF10 涡轮分子泵 池田 ULVAC爱发科

带有使用磁力轴承的集成控制器的涡轮分子泵。

通过集成泵体和控制器，实现了布线和空间的节省。

特征

泵体和控制器一体化，

省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。

自由安装方向

由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。

产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。

适用于轻工艺的广域高流量设计

泵转速可在25%至100%范围内变化，腔室压力可调节。

高耐用性和安全性

通过了各种安全确认测试，包括大气进入测试和着陆测试。

目的

各种设备的真空主排气系统

- 半导体制造设备

- 气相沉积设备

- 喷射设备

- 分析设备、实验设备等

- 研发设备

不产生副反应产物的轻工艺主排气系统

更换配备油扩散泵的设备

其他一般高真空排气应用