ULVAC爱发科

集成控制器UTM1200A 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺

集成控制器UTM-MI 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺集成控制器UTM1200A 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺带有使用磁力轴承的集成控制器的涡轮分子泵。通过集成泵体和控制器,实现了布线和空间的节省。特征泵体和控制器一体化,省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。自由安装方向由于安装方向没有限制,因此设备设计的自由度增加。产品阵容包括抽速 1000L/s 至 30

集成控制器UTM-MI 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺

集成控制器UTM1200A 涡轮分子泵 耐用 ULVAC爱发科 适用于轻工艺


带有使用磁力轴承的集成控制器的涡轮分子泵。

通过集成泵体和控制器,实现了布线和空间的节省。


特征

泵体和控制器一体化,

省去了泵体和控制器之间繁琐的接线工作。

自由安装方向

由于安装方向没有限制,因此设备设计的自由度增加。

产品阵容包括抽速 1000L/s 至 3000L/s。

适用于轻工艺的广域高流量设计


泵转速可在25%至100%范围内变化,腔室压力可调节。

高耐用性和安全性

通过了各种安全确认测试,包括大气进入测试和着陆测试。


目的

各种设备的真空主排气系统

- 半导体制造设备

- 气相沉积设备

- 溅射设备

- 分析设备、实验设备等

- 研发设备

不产生副反应产物的轻工艺主排气系统

更换配备油扩散泵的设备

其他一般高真空排气应用




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