UTM-B复合叶片式涡轮分子泵 ULVAC爱发科

UTM-B复合叶片式涡轮分子泵 ULVAC爱发科

这是使用陶瓷球轴承的复合叶片式涡轮分子泵。
通过集成控制器和泵实现空间节省。
优异的高背压特性还使得辅助泵的小型化成为可能。

特征

• 自由安装方向
  由于安装方向没有限制，因此设备设计的自由度增加。

• 配备车载控制器
  控制器安装在涡轮本体上，可有效减少布线并缩小排气系统的尺寸。

• 高压缩比/高排气
  压力高压缩比允许在高背压下运行，从而可以缩小辅助泵的尺寸。

• 三种类型的法兰可供选择
  三种类型的进气法兰可供选择：VG、ICF 和 ISO-K。

• 
  该设计旨在最大限度地减少碳氢化合物的回流，不仅在清洁真空操作期间，而且在泵停止时也是如此。

目的

• 分析设备、研发设备、实验设备等主要排气系统

• 蒸发设备、溅射设备等主排气系统

• H2 和 He 等轻气体的主排气系统