真空泵-ULVAC爱发科PR3A 再生气体管道装置

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真空泵-ULVAC爱发科PR2A 再生气体管道装置

真空泵-ULVAC爱发科PR3A 再生气体管道装置

再生期间干燥氮气吹扫装置。可靠地缩短加热时间。

需要操作低温泵。

压缩后的氦气被送至制冷机，从制冷机返回的高温氦气被冷却并循环。

应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，

特征

它重量轻、结构紧凑、批量运输，是低温泵的标准。

适用于实验设备和小型生产设备。

可以进行多台操作（最多 3 台）。

可实现超高真空（10 -8 Pa以下）。

特征

4 型低温泵提供最佳的排气特性。

高抽速有助于提高抽气效率和生产率。

特别适用于半导体制造设备和小型设备中的溅射工艺。

一台压缩机最多可运行 4 台泵。

我们可以根据您的应用进行设计和制造。

特征

重量轻、结构紧凑，是最小的标准泵。

适合实验室和实验室的小型真空设备。

可以进行多台操作（最多 3 台）。

可实现超高真空（10 -8 Pa以下）。