ULVAC爱发科CRYO-U22H低温 真空泵 池田 重量轻、结构紧凑
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ULVAC爱发科 CRYO-U22WB低温 真空泵 池田 重量轻、结构紧凑
ULVAC爱发科CRYO-U22H低温 真空泵 池田 重量轻、结构紧凑
应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域,
特征
它重量轻、结构紧凑、批量运输,是低温泵的标准。
适用于实验设备和小型生产设备。
可以进行多台操作(最多 3 台)。
可实现超高真空(10 -8 Pa以下)。
抽速(20℃) | 氮 | 升/秒 | 1,700 |
氢 | 2,700 | ||
氩气 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
极限压力 | 再见(托尔) | 10 -7 (10 -9 ) | |
最大流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.2×10 3 (8.9) |
氢 | 2.4×102 ( 1.8) | ||
排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 1.0×10 8(7.6×10 5) |
氢 | 1.0×10 6 (7.6×10 3 ) | ||
冷却时间 (电源循环) | 最小值(Hz) | 100/90(50/60) | |
进气法兰 | UVG-200,6 B ANSI,UFC-253 | ||
压缩机组 | C10T、C10AT | ||
质量 | 公斤 | 20.8 |