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ULVAC爱发科 CRYO-U22WB低温 真空泵 池田 重量轻、结构紧凑
应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域，
特征
它重量轻、结构紧凑、批量运输，是低温泵的标准。
适用于实验设备和小型生产设备。
可以进行多台操作（最多 3 台）。
可实现超高真空（10 -8 Pa以下）。
规格
| 抽速（20℃） | 氮 | 升/秒 | 1,700 |
| 氢 | 2,700 | ||
| 氩气 | 1,400 | ||
| 水 | 4,000 | ||
| 极限压力 | 再见（托尔） | 10 -7 (10 -9 ) | |
| 最大流量 | 氩气 | 帕・升/秒(托・升/秒) | 1.2×10 3 (8.9) |
| 氢 | 2.4×102 （ 1.8） | ||
| 排气量 | 氩气 | 帕·L(托·L) | 1.0×10 8（7.6×10 5） |
| 氢 | 1.0×10 6 (7.6×10 3 ) | ||
| 冷却时间 （电源循环） | 最小值(Hz) | 100/90(50/60) | |
| 进气法兰 | UVG-200,6 B ANSI,UFC-253 | ||
| 压缩机组 | C10T、C10AT | ||
| 质量 | 公斤 | 20.8 | |