ULVAC爱发科

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应用于电子、光学、太阳能、核聚变、太空开发等众多领域,


特征

它重量轻、结构紧凑、批量运输,是低温泵的标准。

适用于实验设备和小型生产设备。

可以进行多台操作(最多 3 台)。

可实现超高真空(10 -8 Pa以下)。


规格

抽速(20℃)升/秒1,700
2,700
氩气1,400
4,000
极限压力再见(托尔)10 -7 (10 -9 )
最大流量氩气帕・升/秒(托・升/秒)1.2×10 3 (8.9)
2.4×102 ( 1.8)
排气量氩气帕·L(托·L)1.0×10 8(7.6×10 5)
1.0×10 6 (7.6×10 3 )
冷却时间
(电源循环)
最小值(Hz)100/90(50/60)
进气法兰UVG-200,6 B ANSI,UFC-253
压缩机组C10T、C10AT
质量公斤20.8





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