日本 ULVAC爱发科 小型、轻量滤油装置UFO-003
日本 ULVAC爱发科 小型、轻量滤油装置UFO-003这是一种进气过滤器，在不锈钢主体中内置有特殊过滤器。特征有两种类型：一种是防止油反向扩散到真空管道中，另一种是防止粉末进入真空泵。安装时需要 KF-25 夹具。由于是密封型，所以不能更换过滤器。化学型/两级排气系统/带回流防止机构/带气镇机构/内置热保护器/带插头电源线/带开关特征气体接触面经过表面处理的化学型油回转真空泵。可连接至油过滤系统
日本 ULVAC爱发科 小型、轻量滤油装置UFO-003
这是一种进气过滤器，在不锈钢主体中内置有特殊过滤器。
特征
有两种类型：一种是防止油反向扩散到真空管道中，
另一种是防止粉末进入真空泵。安装时需要 KF-25 夹具。
由于是密封型，所以不能更换过滤器。
化学型/两级排气系统/带回流防止机构/
带气镇机构/内置热保护器/带插头电源线/带开关
特征
气体接触面经过表面处理的化学型油回转真空泵。
可连接至油过滤系统。
低噪音、低振动。
配有防回流机构，当机器因停电或其他原因停止时，可防止油回流到真空室。
配备强制润滑机构，排气速度稳定。
可以在大气压下操作。
由于内部零件通过定位销和法兰电机连接，因此易于维护。
规格
| 型 式 | 用 途 | 兼容型号 | A | 乙 | C |
| OFI-050C | 用于防止油回流 | GHD-031 ※、GLS-051 GLD-051、GLD-040、GCD-051X | F74 | 114 | KF-25 |
| OFI-200C | 用于防止油回流 | GHD-101、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA GLD-202BB、GCD-136X、GCD-201X | F99 | 150 | KF-25 |
| OFI-050V | 粉体混入防止用 | GHD-031 ※、GLS-051 GLD-051、GLD-040、GCD-051X | F74 | 114 | KF-25 |
| OFI-200V | 粉体混入防止用 | GHD-100、GLD-137AA、GLD-137CC、GLD-202AA GLD-202BB、GCD-136X、GCD-201X | F99 | 150 | KF-25 |