池田屋售ULVAC爱发科防腐蚀隔膜真空泵DTU-20D
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DAU-20D隔膜片干式真空泵ULVAC爱发科 无油真空泵
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全新进口 MD4UNT干式真空泵ULVAC爱发科 化学工业
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池田屋售ULVAC爱发科防腐蚀隔膜真空泵DTU-20C
池田屋售ULVAC爱发科防腐蚀隔膜真空泵DTU-20D
特征
具有良好记录和低廉价格的标准型干式真空泵。
与气体接触的部位不使用油的干式真空泵。
丰富的产品阵容可供您根据您的应用进行选择。
一级排气系统比二级排气系统具有更高的抽速。
安全设计内置自动返回式热保护器。
可以在大气压下操作。
结构简单,维护方便。
内置平衡端口允许从真空状态重新启动。
通过在低温范围内均匀加热泵体,该泵不仅适用于 PVD 工艺,
而且适用于对装载室和卸载室进行排气,其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。
特征
低温范围内均匀加热(LR系列)
除了PVD工艺外,它特别适用于装载/卸载室的排气,
其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。
配备氦气
密闭电机,密封结构,安全性极高。
瞬时停电对策
我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。
优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊的表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。
当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。
通讯功能
可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。
通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。