日本ULVAC爱发科 DAT-50D隔膜式干式真空泵 内置热保护器

日本ULVAC爱发科 DA-15D隔膜式干式真空泵 内置热保护器

日本ULVAC爱发科 DA-30D隔膜式干式真空泵 内置热保护器

日本ULVAC爱发科 DAT-50D隔膜式干式真空泵 内置热保护器

特征

具有良好记录和低廉价格的标准型干式真空泵。

与气体接触的部位不使用油的干式真空泵。

丰富的产品阵容可供您根据您的应用进行选择。

两级排气系统的压力（真空度良好）比一级排气系统低。

安全设计，内置热保护器。

可以在大气压下操作。

结构简单，维护方便。

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，

而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。

特征

低温范围内均匀加热（LR系列）

除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，

其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。

配备氦气

密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策

我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。

优异的耐腐蚀性

主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。

当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能

可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。

通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。