真空泵油 ULVAC爱发科 SO-M 池田屋实业

真空泵油 ULVAC爱发科 SO-M 池田屋实业

对于耐腐蚀泵GCD系列，请使用具有优异耐腐蚀性的SO-M。

特征

SO-M是适合GCD系列的合成油。

*请勿使用本公司指定以外的泵油。

如果使用指定油以外的油，真空泵将无法发挥其全部性能。

注）真空泵油随着运转而劣化，导致性能下降。请定期检查油位及污垢情况并补充或更换。

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，

而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。

特征

低温范围内均匀加热（LR系列）

除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，

其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。

配备氦气

密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策

我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。

优异的耐腐蚀性

主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。

当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能

可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。

通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。