多级罗茨干式真空泵LR3601涡轮分子泵辅助排气ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR421用于 PVD 工艺

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR421-T用于 PVD 工艺

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR300 薄膜沉积设备用

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR600 薄膜沉积设备用

ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR1200 用于装载/卸载室排气

 多级罗茨干式真空泵LR3601涡轮分子泵辅助排气ULVAC爱发科

通过在低温范围内均匀加热泵体，该泵不仅适用于 PVD 工艺，

而且适用于对装载室和卸载室进行排气，其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。

特征

低温范围内均匀加热（LR系列）

除了PVD工艺外，它特别适用于装载/卸载室的排气，

其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。

配备氦气

密闭电机，密封结构，安全性极高。

瞬时停电对策

我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。

优异的耐腐蚀性

主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。

当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

通讯功能

可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。

通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。

用途

薄膜沉积设备（溅射设备/蒸发设备等）

缩短装卸间排气时间

作为辅助排气泵（涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气）