ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR300 薄膜沉积设备用

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日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR421用于 PVD 工艺

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR421-T用于 PVD 工艺

日本ULVAC爱发科 多级罗茨干式真空泵LR300 薄膜沉积设备用


通过在低温范围内均匀加热泵体,该泵不仅适用于 PVD 工艺,

而且适用于对装载室和卸载室进行排气,其中缩短排气时间对于提高吞吐量尤为重要。


特征

低温范围内均匀加热(LR系列)

除了PVD工艺外,它特别适用于装载/卸载室的排气,

其中缩短排气时间对于提高吞吐量非常重要。

配备氦气

密闭电机,密封结构,安全性极高。

瞬时停电对策

我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。

优异的耐腐蚀性

主要部件采用特殊的表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。

当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。

通讯功能

可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。

通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。


用途

薄膜沉积设备(溅射设备/蒸发设备等)

缩短装卸间排气时间

作为辅助排气泵(涡轮分子泵和机械增压泵的辅助排气)




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