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ULVAC爱发科 机械增压泵 【池田屋】标准辅助泵VS2401

PRC系列是机械增压泵，主要设计用于对清洁度要求特别高的半导体和液晶制造工艺。

通过使用封闭式电机，轴封不会漏油。也可选择大气压驱动型。

特征

由于无油

壳体腔内没有润滑油，因此即使面对水蒸气、溶剂等蒸汽也能发挥稳定的性能。

采用封闭式电机

通过采用封闭式电机，我们能够消除空气/真空机械密封。可以在清洁的环境中使用，不用担心漏油。

表面处理，耐腐蚀性能优异

主要部件均经过阳极氧化处理，表面硬度高，耐腐蚀性能优异，可防止泵内部划伤和腐蚀。也可以选择不进行表面处理。

由于可以与大气压驱动（变频选项：变频）低真空泵同时启动，可有效缩短抽气时间，因此与标准型相比，可缩短抽气时间。

除了标准选项和特殊应用选项外，我们还提供特殊应用型号。

目的

气相沉积、溅射、离子镀

真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

分析设备、检漏设备

气体置换、填充、真空绝热

热处理炉、熔炼炉

其他各种真空装置

规格