ULVAC爱发科

ULVAC爱发科PRC-018A-F 机械增压泵 【池田屋】用于热处理炉

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-003A-X 机械增压泵【池田屋】ULVAC爱发科PRC-006A-X 机械增压泵【池田屋】ULVAC爱发科PRC-012A-X耐腐蚀性 机械增压泵【池田屋】ULVAC爱发科PRC-003A-F 机械增压泵 采用封闭式电机【池田屋】ULVAC爱发科PRC-006A-F 机械增压泵 采用封闭式电机ULVAC爱发科PRC-012A-F 机械增压泵 【池田屋】用于热处理

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-003A-X 机械增压泵

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-006A-X 机械增压泵

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-012A-X耐腐蚀性 机械增压泵

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-003A-F 机械增压泵 采用封闭式电机

【池田屋】ULVAC爱发科PRC-006A-F 机械增压泵 采用封闭式电机

ULVAC爱发科PRC-012A-F 机械增压泵 【池田屋】用于热处理炉

ULVAC爱发科PRC-018A-F 机械增压泵 【池田屋】用于热处理炉


PRC系列是机械增压泵,主要设计用于对清洁度要求特别高的半导体和液晶制造工艺。

通过使用封闭式电机,轴封不会漏油。也可选择大气压驱动型。


特征

由于无油

壳体腔内没有润滑油,因此即使面对水蒸气、溶剂等蒸汽也能发挥稳定的性能。

采用封闭式电机

通过采用封闭式电机,我们能够消除空气/真空机械密封。可以在清洁的环境中使用,不用担心漏油。

表面处理,耐腐蚀性能优异

主要部件均经过阳极氧化处理,表面硬度高,耐腐蚀性能优异,可防止泵内部划伤和腐蚀。也可以选择不进行表面处理。


由于可以与大气压驱动(变频选项:变频)低真空泵同时启动,可有效缩短抽气时间,因此与标准型相比,可缩短抽气时间。

除了标准选项和特殊应用选项外,我们还提供特殊应用型号。


目的

气相沉积、溅射、离子镀

真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

分析设备、检漏设备

气体置换、填充、真空绝热

热处理炉、熔炼炉

其他各种真空装置


规格


型号*1PRC-003APRC-006APRC-012APRC-018A
最大抽速50赫兹280 立方米/小时
(4670 升/分钟)
500立方米/小时
(8330升/分钟)
1000立方米/小时
(16700升/分钟)
1500立方米/小时
(25000升/分钟)
60赫兹330立方米/小时
(5500升/分钟)
600立方米/小时
(10000升/分钟)
1200立方米/小时
(20000升/分钟)
1800立方米/小时
(30000升/分钟)
最大吸气压力50赫兹1.2 × 103帕1.3× 103帕1.2 × 103帕
60赫兹9.3 × 102帕1.1× 103帕9.3 × 102帕
最大允许压差50赫兹4.0 × 103Pa7.3 × 103帕4.3× 103帕
60赫兹3.3× 103帕6.0 × 103Pa3.2 × 103帕
极限压力*24.0 × 10-1Pa6.7 × 10-1Pa
可驱动压力~1.0 x 10 5 Pa(大气压驱动型)
电机*3格式屏蔽式三相异步电动机
高效率等级-
输出0.75千瓦(2极)2.2千瓦(2极)3.7千瓦(2极)5.5千瓦(2极)
电压
(200V级电机)
50赫兹200V
60赫兹200/220V
使用油*4ULVOIL R-42
所需油量  0.7升1.5升1.9升
冷却方式  水冷
冷却水一次压力0.3兆帕
入口/出口压差0.01MPa以上
冷却水量2升/分钟3升/分钟
冷却水温度*55~30℃
进气直径 JIS-B-2290相当于VG80相当于VG100相当于VG150
排气直径 JIS-B-2290相当于VF80相当于VF100
外形尺寸W×D×H *6296×575×260毫米356×619×320毫米406×759×340毫米406×989×340毫米
重量51公斤86公斤118公斤150公斤
标准辅助泵VD60CVD90CVS2401VS2401
标准配件1 本使用说明书、1 单位油






首页
产品
新闻
联系