SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V
SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V / SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100VSATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V / SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V规格极限压力×10 –5帕真空计BA表、电容压力表工作尺寸宽100mm×长200m×厚50~100um进给率0.2~4m/min（顺时针/逆时针
SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V / SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V
SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V / SATOVAC佐藤真空 研究开发用辊涂机 SRC-100V
规格
| 极限压力 | ×10 –5帕 |
|---|---|
| 真空计 | BA表、电容压力表 |
| 工作尺寸 | 宽100mm×长200m×厚50~100um |
| 进给率 | 0.2~4m/min（顺时针/逆时针均可） |
| 真空室 | SUS304 宽500×高850×深450mm |
| 玉米卷 | φ250水冷式 |
| 轴封 | 采用磁力密封 |
| 成膜前的等离子处理 | 13.56MHz射频电极x1组 |
| 蒸发源 | ① 最多2种70×200 DC磁控管型 ② 电阻蒸发源 |
| 主泵 | TMP 1100L/s |
| 排湿 | 低温超级陷阱 |
| 工艺气体 | Ar、O 2、N 2，使用质量流量控制器 |
| 建筑面积 | 4平方米 |
| 公用事业 | ・AC200V 3φ 100A ・冷却水 |