SATOVAC佐藤真空

日本原装进口 SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1501

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日本原装进口 SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置  SFCV系列 SFCV-1501

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图片关键词


规格

型号SFCV-1001SFCV-1003SFCV-1501
管式炉炉膛管材料透明石英管氧化铝管
内径φ24mm、φ50mmφ24mm
加热温度经常使用100~1000℃500~1400℃
最大限度1150℃1500℃
加热面积1 区3个区域1 区
加热器容量1.0kW2.4千瓦1.2千瓦
真空排气油回转真空泵抽速:100-150L/min
燃气供应质量流量控制器流量:10~100sccm
燃气管式流量计
气体稀释空气喷射器空气流量:15Nl/min
真空计压力控制电容压力计:0.133~1330Pa、100Pa~133kPa
大气再加压数字复合表:-100kPa至+100kPa
控制温度控制程序控制
压力控制阀门开/关控制
控制面板各设备开关、程序温控器、真空表
显示:温度、真空度、操作设备ON/OFF、报警、电源
电源 单相100V・30A100V・50A200V・20A
外形尺寸宽×深×高1450×500×1200毫米
质量125公斤134公斤128公斤



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