SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001
SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001规格型号SFCV-1001SFCV-1003SFCV-1501管式炉炉膛管材料透明石英管氧化铝管内径φ24mm、φ50mmφ24mm加热温度经常使用100～1000℃500～14
SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001
SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001
SATOVAC佐藤真空 小型CVD装置 SFCV系列 SFCV-1001
规格
| 型号 | SFCV-1001 | SFCV-1003 | SFCV-1501 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 管式炉 | 炉膛管 | 材料 | 透明石英管 | 氧化铝管 | |
| 内径 | φ24mm、φ50mm | φ24mm | |||
| 加热温度 | 经常使用 | 100～1000℃ | 500～1400℃ | ||
| 最大限度 | 1150℃ | 1500℃ | |||
| 加热面积 | 1 区 | 3个区域 | 1 区 | ||
| 加热器容量 | 1.0kW | 2.4千瓦 | 1.2千瓦 | ||
| 真空排气 | 油回转真空泵 | 抽速：100-150L/min | |||
| 燃气供应 | 质量流量控制器 | 流量：10~100sccm | |||
| 燃气管式流量计 | |||||
| 气体稀释 | 空气喷射器 | 空气流量：15Nl/min | |||
| 真空计 | 压力控制 | 电容压力计：0.133~1330Pa、100Pa~133kPa | |||
| 大气再加压 | 数字复合表：-100kPa至+100kPa | ||||
| 控制 | 温度控制 | 程序控制 | |||
| 压力控制 | 阀门开/关控制 | ||||
| 控制面板 | 各设备开关、程序温控器、真空表 显示：温度、真空度、操作设备ON/OFF、报警、电源 | ||||
| 电源 | 单相 | 100V・30A | 100V・50A | 200V・20A | |
| 外形尺寸 | 宽×深×高 | 1450×500×1200毫米 | |||
| 大量的 | 125公斤 | 134公斤 | 128公斤 | ||