SATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30G
SATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30GSATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30GSATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30G规格型号HSV-3-30GHSV-8-50HSV-12-80极限压力×10 -3帕×10 -4帕基材加热温度-最高300℃蒸发源（电极）2对10V最大150A2对20V最大200A阀门操作手动的自
SATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30G
SATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30G
SATOVAC佐藤真空 真空蒸镀装置 HSV系列 HSV-3-30G
规格
| 型号 | HSV-3-30G | HSV-8-50 | HSV-12-80 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 极限压力 | ×10 -3帕 | ×10 -4帕 | |||
| 基材加热温度 | - | 最高300℃ | |||
| 蒸发源（电极） | 2对10V最大150A | 2对20V最大200A | |||
| 阀门操作 | 手动的 | 自动的 | 手动的 | 自动的 | 手动的 |
| 真空室 | φ300×H300mm 透明玻璃 | φ500×H500mm（水冷式） SUS 304 | φ800×H700mm（水冷型）/前门型 SUS 304 | ||
| 旋转机构 | - | 公转机构 | 旋转机构 | ||
| 内部机制 | 快门机构、电阻加热机构 | 快门机构、加热加热器、电阻加热机构 | |||
| 主泵 | 油扩散3英寸 | 油扩散8英寸 | 油扩散12英寸或冷冻 | ||
| 辅助泵 | 150升/分钟 | 500升/分钟 | 1500升/分钟 | ||
| 主阀 | 3英寸 | 8英寸 | 12英寸 | ||