ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科 化学气相沉积设备 真空泵HR90池田屋

日本ULVAC爱发科 化学气相沉积设备 真空泵HR60池田屋日本ULVAC爱发科 化学气相沉积设备 真空泵HR90池田屋通过在高温范围内均匀加热泵体,泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。特征可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。UR系列可以达到比HR系列更高的温度。配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。瞬时停电对策我们采取了防止1000毫秒内瞬时停

日本ULVAC爱发科 化学气相沉积设备 真空泵HR60池田屋

日本ULVAC爱发科 化学气相沉积设备 真空泵HR90池田屋


通过在高温范围内均匀加热泵体,
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。


特征


  • 可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
    UR系列可以达到比HR系列更高的温度。


  • 配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。

  • 瞬时停电对策
    我们采取了防止1000毫秒内瞬时停电的措施。

  • 优异的耐腐蚀性
    主要部件采用特殊的表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。

  • 通讯功能
    可以读取有关泵运行状态和警告/警报历史记录的数据。通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。

目的

  • 化学气相沉积设备

  • 蚀刻设备

  • 灰化装置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

规格

模型HR60HR90HR300HR600HR1200
使用泵数据恢复计划HR60HR90HR60HR90HR90
MPB--PRC-003APRC-006APRC-012A
最大
抽速 
50赫兹立方米/小时
(升/分钟)
62(1030)112(1860)359(5,980)653(10,900)1,012(16,900)
60赫兹立方米/小时
(升/分钟)
80(1333)126(2100)365(6,080)701(11,700)1,051(17,500)
极限压力0.67     
最大入口压力
(吸入压力)

大气压*1
最大排气口压力
(排出压力)
1~大气压
进气口(CE规格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG80(KF80)VG100(KF100)
排气口KF40
大量的公斤180245275370第420章
电力三相交流电压(赫兹)200(50/60), 220(60)
当前值稳定状态A7.1
(200V 时)
11.2
(200V 时)
7.8
(200V 时)
12.9
(200V 时)
15.4
(200V 时)
最大值A7.3
(200V 时)
11.8
(200V 时)
8.1
(200V 时)
13.8
(200V 时)
18.9
(200V 时)




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