ULVAC爱发科

日本ULVAC爱发科PRC-012A【池田屋】多级罗茨型干真空泵 灰化装置用

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通过在高温范围内均匀加热泵体，
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。

特征


  • 可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
    UR系列可以达到比HR系列更高的温度。


  • 配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。

  • 瞬时停电对策：
    实施1000msec以内的瞬时停电对策。

  • 优异的耐腐蚀性
    主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。

  • 通讯功能：
    可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。

用途

  • CVD 装置

  • 蚀刻设备

  • 灰化装置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

规格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵决策支持系统UR421-TUR90UR90UR180UR421-T
MBP-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大抽速　　410 立方米/小时
（6833 升/分钟）		653 立方米/小时
（10883 升/分钟）		1012 立方米/小时
（16867 升/分钟）		1701 立方米/小时
（28350 升/分钟）		2700立方米/小时
（45000升/分钟）
极限压力5.0 好
最大入口压力
（吸入压力）		大气压*1
最大排气口压力
（排出压力）		1~大气压Pa







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