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ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】

ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】通过在高温范围内均匀加热泵体,泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。特征可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。UR系列可以达到比HR系列更高的温度。配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。瞬时停电对策:实施1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表

ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】

通过在高温范围内均匀加热泵体,
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。

特征


  • 可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
    UR系列可以达到比HR系列更高的温度。


  • 配备氦气密闭电机,密封结构,安全性极高。

  • 瞬时停电对策:
    实施1000msec以内的瞬时停电对策。

  • 优异的耐腐蚀性
    主要部件采用特殊的表面处理,表面硬度高,耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时,减少泵内部的腐蚀。

  • 通讯功能:
    可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信,可以进行集中监控。

用途

  • CVD 装置

  • 蚀刻设备

  • 灰化装置

  • 酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等

规格

模型UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵决策支持系统
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
MBP-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大抽速  410 立方米/小时
(6833 升/分钟)
653 立方米/小时
(10883 升/分钟)
1012 立方米/小时
(16867 升/分钟)
1701 立方米/小时
(28350 升/分钟)
2700立方米/小时
(45000升/分钟)
极限压力
5.0 好
最大入口压力
(吸入压力)
大气压*1
最大排气口压力
(排出压力)
1~大气压Pa


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