ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】
ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】通过在高温范围内均匀加热泵体，泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。特征可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。UR系列可以达到比HR系列更高的温度。配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。瞬时停电对策：实施1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐腐蚀性主要部件采用特殊的表
ULVAC爱发科UR421-T 多级罗茨型干真空泵 用于CVD 装置【池田屋】
通过在高温范围内均匀加热泵体，
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
泵能够将CVD、蚀刻等过程中产生的升华废气物质以气态排出。
特征
可以将在高温区域的均热CVD、蚀刻等中产生的升华废气以气态排出。
UR系列可以达到比HR系列更高的温度。
配备氦气密闭电机，密封结构，安全性极高。瞬时停电对策：
实施1000msec以内的瞬时停电对策。优异的耐腐蚀性
主要部件采用特殊的表面处理，表面硬度高，耐腐蚀性优异。当腐蚀性气体排出时，减少泵内部的腐蚀。通讯功能：
可以读取与泵运行状态和警告/报警历史相关的数据。通过使用专用软件并与计算机通信，可以进行集中监控。
用途
CVD 装置
蚀刻设备
灰化装置
酒精性肝病 (ALD)、酒精性肝炎 (ALH) 等
规格
| 模型 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 决策支持系统 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| MBP | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大抽速 | 410 立方米/小时 （6833 升/分钟） | 653 立方米/小时 （10883 升/分钟） | 1012 立方米/小时 （16867 升/分钟） | 1701 立方米/小时 （28350 升/分钟） | 2700立方米/小时 （45000升/分钟） | ||||
| 极限压力 | 5.0 好 | ||||||||
| 最大入口压力 （吸入压力） | 大气压*1 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出压力） | 1~大气压Pa | ||||||||