【池田屋】ULVAC爱发科VD60C 直驱式油旋片真空泵 半导体、医药
ULVAC爱发科旋片式（两级）直驱式油旋片真空泵 VD Ver.C【池田屋】ULVAC爱发科VD30C 低噪音 直驱式油旋片真空泵【池田屋】ULVAC爱发科VD40C 低噪音 直驱式油旋片真空泵【池田屋】ULVAC爱发科VD60C 低噪音 直驱式油旋片真空泵VD系列Ver.C是旋片式（两级）直驱式油旋片真空泵。两级旋片结构提供了良好的极限压力，优化的设计使泵噪音低。该真空泵有多种可选规格，可用于广
ULVAC爱发科旋片式（两级）直驱式油旋片真空泵 VD Ver.C
【池田屋】ULVAC爱发科VD30C 低噪音 直驱式油旋片真空泵
【池田屋】ULVAC爱发科VD40C 低噪音 直驱式油旋片真空泵
【池田屋】ULVAC爱发科VD60C 低噪音 直驱式油旋片真空泵
VD系列Ver.C是旋片式（两级）直驱式油旋片真空泵。
两级旋片结构提供了良好的极限压力，优化的设计使泵噪音低。
该真空泵有多种可选规格，可用于广泛的应用领域。
特征
持续高吸入压力 可反复排空至大气
采用油泵强制润滑方式
采用液压油防吸装置
本机装有油防吸装置，可最大限度地减少液压油回流到油缸中，减轻重新启动泵时的负载。因此，您可以使用它，而不必担心意外停电或因真空泵停止而未将进气侧恢复到大气压而引起的故障，例如泵油回流到气缸中而导致重新启动困难。设计时考虑到易于维护。
配备方便加油的大油盖、可从多个方向检查剩余油位的油位计以及方便换油。此外，该结构使得在检修或修理泵时无需拆除电机接线或吸入侧管道即可进行维护。CE 、cTUVus Compliant符合
CE标准，可在欧盟国家和欧洲经济区使用。还获得了cTVUus标准，在北美可以放心使用。采用ULVAC原装高效（IE3 ）多电压电机
日本电机生产已统一为高效电机（IE3 ），个别电机的进口也受（ IE3 ）管制。另外，在中国，《中国能源效率标识实施条例》已经颁布， 目前修订为GB3 级（GB18613-2012 ）。它配备了由 ULVAC 集团公司制造的电机。
目的
蒸镀设备、溅射设备、离子镀设备
分析设备/泄漏测试设备
气体置换/注液
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、真空绝热
真空吸附/真空成型
其他各种真空装置
规格
| 模型 | VD30C | VD40C | VD60C | VD90C | ||
| 设计抽速 m 3 /h (L/min) | 50赫兹 | 30 (500) | 40 (670) | 60 (1000) | 90 (1500) | |
| 60赫兹 | 36 (600) | 48 (800) | 72 (1200) | 108 (1800) | ||
| 极限压力*1 Pa | 全科医生关闭 | ≤0.67 | ||||
| 全科医生开幕 | ≤2.0 | |||||
| 最大 允许水蒸气压 Pa | 全科医生开幕 | 50赫兹 | 1300 | 1360 | 1320 | 970 |
| 60赫兹 | 1400 | 1760 | 2800 | 2820*2 | ||
| 最大 蒸汽吞吐量 g/h | 全科医生开幕 | 50赫兹 | 190 | 270 | 第430章 | 第480章 |
| 60赫兹 | 250 | 410 | 1100 | 1650*2 | ||
| 电机*3 | 格式 | 全封闭外风扇式三相异步电动机 | ||||
| 高效率等级 | IE3 | |||||
| 输出 kW （极） | 1.5 (4) | 1.5 (4) | 2.2 (4) | 3.7 (4) | ||
| 电压 V | 50赫兹 | 200 ~ 240 / 380 ~ 415 (多电压电机) | ||||
| 60赫兹 | 200 ~ 240 / 380 ~ 460 (多电压电机) | |||||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||||
| 所需油量 L | 1.0至2.5 | 2.5至4.0 | ||||
| 冷却方式 | 风冷 | |||||
| 进气直径 JIS B 2290（选项 ISO KF） | 相当于VG40（相当于KF40） | 相当于VG50（相当于KF50） | ||||
| 排气口尺寸 JIS B 2290（选项 ISO KF） | 相当于VG40（相当于KF40） | |||||
| 外形尺寸 毫米 | WD H | 210 660 324 | 210 680 324 | 280 761 371 | 280 831 371 | |
| 质量 kg | 58 | 60 | 90 | 113 | ||
| 兼容标准 | CE/cTUVus | |||||
| 标准配件 | 1单位油 | |||||