MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科
MS120A螺杆式干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科 MS600A耐腐蚀性 干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵，在传统LS 系列的基础上提高了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。特征对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理，具有较高的耐腐
MS120A螺杆式干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科
MS600A耐腐蚀性 干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科
MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科
MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵，
在传统LS 系列的基础上提高了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。
特征
对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理，具有较高的耐腐蚀性。
ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。
可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。
目的
电子零件、半导体制造设备用真空排气系统
蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等真空热处理炉、真空抽气系统
烧结炉、渗碳炉等。锂电池制造设备真空排气系统
电极干燥设备、消泡设备、注液设备等医疗及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备
、真空干燥设备等。
*MS1200A 可单独购买，并添加控制板和传感器。请联系我们。
规格
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大抽速*1 | 立方米/小时 | 115 | 560 | 980 |
| 极限压力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 电源电压 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大约功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷却水量 | 升/分钟 | >4.0 | ||
| 吹扫气体量*1 | 可持续发展管理 | 0~50 | ||
| 最大水蒸气处理量 *1*3 | 公斤/小时 | 1.5 | ||
| 噪音值*2 | 分贝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 进气口 | KF50（卧式）/VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排气口 | KF40 | |||
| 质量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 兼容标准 | CE、cTUVus | |||
| 标准配件 | 快速说明书、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套 | |||
| 车身选项 | 电源电压：200V级或400V级 密封材料：氟橡胶（FKM）或全氟橡胶（FFKM） | |||
| 外部选项 | 底盘排气口、防震夹具、LR兼容单元（进气口、信号）、吹扫气阀 | |||