ULVAC爱发科

MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科

MS120A螺杆式干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科 MS600A耐腐蚀性 干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵,在传统LS 系列的基础上提高了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。特征对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理,具有较高的耐腐

MS120A螺杆式干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科 

MS600A耐腐蚀性 干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科

MS1200A半导体制 造干式真空泵 池田屋/ULVAC爱发科


MS系列真空泵属于螺杆式干式真空泵。这是一款耐过程干式真空泵,

在传统LS 系列的基础上提高了耐腐蚀性和粉末排放性能。设计用于涉及腐蚀性气体或粉末抽真空的真空工艺。

特征

  • 对转子轴、筒体等主要部件进行特殊的表面处理,具有较高的耐腐蚀性。

  • ULVAC 独特的螺杆式转子轴设计实现了高粉末排出性能。

  • 可在从大气压到极限压力的整个压力范围内连续运行。

目的

  • 电子零件、半导体制造设备用真空排气系统
    蚀刻设备、灰化设备、等离子清洗设备等

  • 真空热处理炉、真空抽气系统
    烧结炉、渗碳炉等。

  • 锂电池制造设备真空排气系统
    电极干燥设备、消泡设备、注液设备等

  • 医疗及食品相关设备真空排气冷冻干燥设备
    、真空干燥设备等。


*MS1200A 可单独购买,并添加控制板和传感器。请联系我们。

规格

模型 MS120AMS600AMS1200A
最大抽速*1立方米/小时115560980
极限压力≤0.6≤0.1
电源电压三相,50/60Hz,AC200-240V±10%或三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
大约功耗*2千瓦2.43.13.1
冷却水量升/分钟>4.0
吹扫气体量*1可持续发展管理0~50
最大水蒸气处理量
*1*3
公斤/小时1.5
噪音值*2分贝(A)616264
进气口KF50(卧式)/VG50(立式)ISO-F-80ISO-F-100
排气口KF40
质量*4公斤139241264
兼容标准CE、cTUVus
标准配件快速说明书、电源连接器、防水线夹、信号连接器、电源连接器护罩、专用消音器1套
车身选项电源电压:200V级或400V级
密封材料:氟橡胶(FKM)或全氟橡胶(FFKM)
外部选项底盘排气口、防震夹具、LR兼容单元(进气口、信号)、吹扫气阀




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