日本ORC欧阿希半导体用紫外线照射装置VUM-3500
日本ORC欧阿希半导体用紫外线照射装置VUM-3500模型VUM-3500晶圆尺寸Φ300mm（标准）同时加工数15 张盒式晶圆盒晶圆转移自动转移灯数20个照度测量自动测量
日本ORC欧阿希半导体用紫外线照射装置VUM-3500
| 模型 | VUM-3500 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | Φ300mm（标准） |
| 同时加工数 | 15 张 |
| 盒式 | 晶圆盒 |
| 晶圆转移 | 自动转移 |
| 灯数 | 20个 |
| 照度测量 | 自动测量 |
日本ORC欧阿希半导体用紫外线照射装置VUM-3500模型VUM-3500晶圆尺寸Φ300mm（标准）同时加工数15 张盒式晶圆盒晶圆转移自动转移灯数20个照度测量自动测量
日本ORC欧阿希半导体用紫外线照射装置VUM-3500
| 模型 | VUM-3500 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | Φ300mm（标准） |
| 同时加工数 | 15 张 |
| 盒式 | 晶圆盒 |
| 晶圆转移 | 自动转移 |
| 灯数 | 20个 |
| 照度测量 | 自动测量 |