池田屋/OHKURA高性能质量 一体式质量流量计MF5141B

池田屋/OHKURA宽流量范围 质量流量计MF5100B

池田屋/OHKURA宽流量范围 质量流量计MF5111B 

池田屋/OHKURA高性能质量 一体式质量流量计MF5141B

MF5100B系列是一款集易用性和高性能于一体的质量流量计/质量流量控制器，

具有宽流量范围、高温稳定性和3种模式的软启动功能等特点。

特征

■流量范围广

我们的流量范围广，从最小5SCCM到最大400SLM。

■高可靠性

通过集成各电路并优化机械系统，尽管尺寸较小，但仍实现了高可靠性。

■软启动功能

内置软启动功能具有线性启动，时间可调（最长70秒），并以3种模式运行（更改设置时、打开电源时、外部阀门打开时）关闭→打开）。

■高稳定性

温度稳定性为0.05%/℃，泄漏标准高达1×10 -10 Pa·m 3 /s（He）。