经销OHKURA高性能质量流量控制器/MF1181B（常开）
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经销OHKURA质量流量计/质量流量控制器/MF1100B
经销OHKURA质量流量计/质量流量控制器/MF1111B
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经销OHKURA高性能质量流量控制器/MF1171B（常闭）
经销OHKURA高性能质量流量控制器/MF1181B（常开）
MF1100B系列是一款实现高性能、低成本的质量流量计/质量流量控制器。
有从 5 SCCM 到 20 SLM 的 15 个流量范围，使其易于用于从分析到工业用途的各种用途。
特征
■高可靠性
通过内部电路的集成化，实现了可靠性和小型化。
■兼容性高
可使用与MF5100B系列相同的配管连接材料、电源、设定装置。
■丰富的外围设备 外围设备
有指示器、设定装置、电源、带连接器的电缆等。
| 模型 | 质量流量计 | 质量流量控制器 | ||
|---|---|---|---|---|
| 标准范围 | 低价商品 | 通用产品 | 低价商品 | 通用产品 |
| 控制范围 | MF1121B | MF1111B | MF1171B（常闭） MF1181B（常开） | MF1141B（常闭） MF1151B（常开） |
| 精度定格 | 0～5 SCCM 0～100 SCCM 0～2 SLM 0～10〃 0～200〃 0～3〃 0～ 20〃 0～300〃 0～5〃 0～30〃 0～500〃 0～10〃 0～ 50 〃 0～1,000 〃 0 ～ 20 〃 | 0.1～5 SCCM 2～100 SCCM 0.04～2 SLM 0.2～10〃 4～200〃 0.06～3〃 0.4～20〃 6～300〃 0.1～5〃 0.6～30〃 10～500〃 0.2～10〃 1.0～ 50〃 20～1,000〃 0.4～20〃 | ||
| 控制范围 | － | 2～100%满量程 | ||
| 精度定格 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 | ±2%FS以下 | ±1.5%FS以下 |
| 直线性 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 | ±1%FS以下 | ±0.7%FS以下 |
| 再现性 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 |
| 响应时间 | 输出电压在大约 3 秒内收敛到设定值的 ±2%FS 以内。 | |||
| 最大工作压力 | 1.0兆帕 | |||
| 耐压性 | 1.5兆帕 | |||
| 压力损失 | 5.0kPa | |||