YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀设备Smart Cell® W型硅片组合示例

YAMAMOTO-MS山本鍍金試験器 晶圆电镀设备Smart Cell® W型硅片组合示例

Smart Cell 水箱、夹具、加热器和搅拌器组合的示例。

适合基本实验，例如电镀硅晶片芯片和凸点电镀。

智能细胞结构

将智能细胞放置在磁力搅拌器上并通过旋转搅拌器来使用。

通过如下图所示进行溢流循环，

即使电镀液蒸发，电镀区域的液面也能保持恒定，从而可以保持稳定的电流分布和电镀面积。

组合示例

水箱容量有500mL和1000mL两种。

500mL可安装10x15mm夹具，1000mL可安装10x15mm和30x30mm夹具。

水箱容量和夹具尺寸的改变可以通过特殊订单进行。

*如果想使用热搅拌器，请使用玻璃智能池（A-56-0500G）