日本YAMAMOTO-MS，A-52-ST6-P01BW1半导体晶圆电镀水槽

山本镀金 A-52硅片电镀实验装置 YAMAMOTO-MS半导体精密电镀

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 硅片水箱A-52-ST2-P01A（亚克力双层底型）YAMAMOTO-MS

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日本YAMAMOTO-MS，A-52-ST6-P01BW1半导体晶圆电镀水槽

2-12英寸硅片电镀设备一套。通过使用特殊的夹具，可以进行半导体和MEMS的精密电镀。

特征

水族箱的结构可以不断进行过滤，同时从水箱底部产生温和的对流，从而导致溢出。

有可进行高速搅拌的1面溢流型和2面溢流型。使用桨式搅拌直接搅拌。

也可作为生产设备使用。

已获得多项国内外专利，另有多项专利正在申请中。

基材材质

它不仅可用于硅晶圆，还可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

温度控制器

B-93-YTC300

B-93-YTC-P03

隔膜阳极支架B-77-P30

电镀测试仪、应力测量仪

B-72WJ

B-72-P01WJ

B-72-P02

B-72-P14A

B-72-P19A

B-72-P20

B-72-P41

B-72-P42

B-72-P33

B-72-P14B

B-72-P14B-1