YAMAMOTO-MS山本镀金

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通过传感器测量基板上的应变,并实时测量镀层的内应力。


可以在一次测量中测量每个电镀时间(膜厚)的应力。还可以测量在已经镀覆的膜上再次进行镀覆时的应力。

可以测量传统应力计无法检测到的微小应力。

将专用应力计板插入精密电镀电源YPP系列的插槽中。


特征

● 符合JIS H8626标准。

● 甚至可以测量微弱的压力。

适用于测量薄膜、晶圆等弱产品。 (可准确测量0.5μm以上的膜厚)

● 可测量其他方法无法测量的初始应力。

● 适用于精细零件。

● 传感器获得的数据立即输入连接电源的PC,PC自动计算应力值,无需任何计算。

此外,使用计算机实时显示和累积测量的数据。


输入电压
AC100~200V±10%(50/60Hz±5%)
输出电压/输出电流DC0~15V/0~10A
最小分辨率1mA/10mV/0.1mC
温控功能1KW(ON/OFF控制/PID控制) 
体重8.8公斤
兼容操作系统兼容Windows8,10






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