TAISEI大成技研 细粉 气态除粉装置 长寿命TU-5100

TAISEI大成技研 组合型 气体粉体除去装置TU-1500

TAISEI大成技研 组合型 气体粉体除去装置TU-1500J

TAISEI大成技研 组合型 气体粉体除去装置TU-3100

TAISEI大成技研 组合型 细粉 气态除粉装置TU-3100J

TAISEI大成技研 组合型 细粉 气态除粉装置TU-4100

TAISEI大成技研 组合型 细粉 气态除粉装置TU-4100J

TAISEI大成技研 细粉 气态除粉装置 长寿命TU-5100

是一种气体除粉装置，是 Trapac 的进一步发展，配备了漩涡型元件。

气体除粉装置有元件型、旋流型、组合型三种。

元素类型

捕获从元件表面到深层的反应产物（粉末）。

它使用“Trapac Element”，可以收集重量超过其自身重量 10 倍的粉末。

旋流式

它安装在漩涡结构（漩涡处理板）内部。 

“涡流元件”用于在朝向中心的旋流中反复碰撞和吸附废气中的反应产物。

外观和结构

高性能

由于螺旋结构，粉末不会长时间经历压力损失

低损圧

几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合所排除。

大量捕集

粉末分层在安装的涡流元件的表面上。

・主要用途/CVD、蚀刻・一次元件/涡流元件

・二次元件/无・安装位置/真空、排气

TU-1500 / J （组合型） 主要用途：蚀刻/CVD 元素格式：HL + 漩涡 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□370mm×H707mm 体重：49公斤/65公斤

TU-3100 / J （组合型） 主要用途：蚀刻/CVD 元素格式：IL + 漩涡 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□400mm×H1013mm 重量：93公斤/98公斤

TU-4100 / J （组合型） 主要用途：蚀刻/CVD 元素格式：KL + Uzu 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□430mm×H1064mm 重量：104公斤/147公斤

TU-5100 / J （组合型） 主要用途：蚀刻/CVD 元素格式：KL + Uzu 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□485mm×H1064mm 重量：110公斤/127公斤

TU-6100 / J （组合型） 主要用途：蚀刻/CVD 元素格式：KL + Uzu 连接尺寸：NW40、NW50 尺寸：□535mm×H1264mm 重量：160公斤/220公斤