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是一种气体除粉装置，是 Trapac 的进一步发展，配备了漩涡型元件。
气体除粉装置有元件型、旋流型、组合型三种。
元素类型
捕获从元件表面到深层的反应产物（粉末）。
它使用“Trapac Element”，可以收集重量超过其自身重量 10 倍的粉末。
旋流式
它安装在漩涡结构（漩涡处理板）内部。
“涡流元件”用于在朝向中心的旋流中反复碰撞和吸附废气中的反应产物。
外观和结构
高性能
由于螺旋结构，粉末不会长时间经历压力损失
低损圧
几乎所有粉末都被涡流数和涡流螺距的组合所排除。
大量捕集
粉末分层在安装的涡流元件的表面上。
・主要用途/CVD、蚀刻・一次元件/涡流元件
・二次元件/无・安装位置/真空、排气
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